離子滲氮又稱輝光滲氮，是利用輝光放電原理進行的。把金屬工件作為陰極放入通有含氮介質(zhì)的負壓容器中，通電后介質(zhì)中的氮氫原子被電離，在陰陽極之間形成等離子區(qū)。在等離子區(qū)強電場作用下，氮和氫的正離子以高速向工件表面轟擊。離子的高動能轉(zhuǎn)變?yōu)闊崮?，加熱工件表面至所需溫度。由于離子的轟擊，工件表面產(chǎn)生原子濺射，因而得到凈化，同時由于吸附和擴散作用，氮遂滲入工件表面。
與一般的氣體滲氮相比，離子滲氮的特點是：
①可適當(dāng)縮短滲氮周期；
②滲氮層脆性?。?br /> ③可節(jié)約能源和氨的消耗量；
④對不需要滲氮的部分可屏蔽起來，實現(xiàn)局部滲氮；
⑤離子轟擊有凈化表面作用，能去除工件表面鈍化膜，可使不銹鋼、耐熱鋼工件直接滲氮；
⑥滲層厚度和組織可以控制。離子滲氮發(fā)展迅速，已用于機床絲桿、齒輪、模具等工件。
①可適當(dāng)縮短滲氮周期；
②滲氮層脆性?。?br /> ③可節(jié)約能源和氨的消耗量；
④對不需要滲氮的部分可屏蔽起來，實現(xiàn)局部滲氮；
⑤離子轟擊有凈化表面作用，能去除工件表面鈍化膜，可使不銹鋼、耐熱鋼工件直接滲氮；
⑥滲層厚度和組織可以控制。離子滲氮發(fā)展迅速，已用于機床絲桿、齒輪、模具等工件。
近幾年來,離子氮化的發(fā)展很快,尤其是離子氮化爐脈沖電源的問世,它將放電的物理參數(shù)(電壓、電流、氣壓)與控溫參數(shù)(脈沖寬度)分開。增加了工藝的可調(diào)性,易于實現(xiàn)工藝參數(shù)的選擇和精確控制。
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