1 設(shè)備
1.1 設(shè)備應(yīng)設(shè)置電壓、電流、溫度、真空度和氣體流量的測(cè)量指示儀表，溫度應(yīng)能自動(dòng)控制和記錄。
1.2 設(shè)備的極限真空度應(yīng)不低于6.7Pa，壓升率應(yīng)不大于 1. 3 X10-¹Pa/min。
1.3 設(shè)備應(yīng)有可靠的滅弧裝置。
1.3 設(shè)備應(yīng)有可靠的滅弧裝置。
2 氮化前的準(zhǔn)備
2.1 氮化前，應(yīng)清洗和除去氣門表面的油污和銹蝕。
2.2 裝爐時(shí)，氣門間的距離和氣門至陽(yáng)極的距離應(yīng)力求均勻，氣門底盤間距應(yīng)大于10mm，氣門與陽(yáng)極的間距應(yīng)大于30mm。
2.3 氣門桿端部非氮化部位，應(yīng)采用鋼鐵制件復(fù)蓋等機(jī)械屏蔽進(jìn)行防滲。
3 氮化工藝控制。
3.1 預(yù)抽真空應(yīng)盡量接近設(shè)備的極限真空度。
3.2 起輝應(yīng)采用小電流，濺射打弧階段氣壓不宜超過(guò) 1.3X 10²Pa。
3.3 升溫階段滅弧裝置須投入使用，氣壓應(yīng)控制在 1.3X 10²- 2.6X 10² Pa 范圍。
3.4 保溫階段氣壓應(yīng)控制在 2. 6x10²-8.0x10²Pa 之間，并應(yīng)盡量保持氣體流量和氣壓的穩(wěn)定。
3.5 降溫階段氣門應(yīng)在真空或保護(hù)氣氛中冷卻，出爐溫度不應(yīng)高于150 ℃。
3.6 應(yīng)對(duì)氮化工藝操作的全過(guò)程作詳細(xì)記錄。
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