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        離子滲氮保溫階段結(jié)束后進(jìn)入冷卻階段。常采用的冷卻方式有下面幾種：
        1.停止抽氣和供氣，切斷輝光電源，在原滲氮的氣氛中隨爐冷卻。如果設(shè)備的密閉性不高，漏氣率較大時(shí)，為避免零件在冷卻過程中氧化，可以停泵和切斷輝光電流后向爐內(nèi)繼續(xù)沖入分解氨，當(dāng)爐壓達(dá)30-50托后關(guān)斷氣源。此法操作最為簡(jiǎn)便，省時(shí)，能保證滲氮后得到銀灰色的表面。
        2.切斷輝光電源和氣源后將爐子抽到最高的真空度，滲氮零件在抽氣的過程中冷卻。
        3.切斷輝光電源，供氣和抽氣系統(tǒng)繼續(xù)工作，滲氮零件在流動(dòng)新鮮滲氮?dú)夥罩欣鋮s。
        4.在稀薄的輝光保護(hù)下逐漸降溫至250℃以下，再停電隨爐冷卻。
        離子滲氮后零件需要快速冷卻時(shí)，可向爐內(nèi)通入惰性氣體，并用安置在爐內(nèi)的特制風(fēng)扇強(qiáng)制冷卻。青島豐東熱處理生產(chǎn)的離子氮化爐在降溫階段充入氮?dú)猓瑫r(shí)開啟爐內(nèi)攪拌風(fēng)扇和爐外冷卻風(fēng)扇進(jìn)行快速降溫冷卻，保證工件不被氧化的同時(shí)加快冷卻速度，冷卻效率提高50%以上。