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        零件滲氮后發(fā)生形狀變化的原因是由于原先存在的內(nèi)應力松弛和重新分布以及滲層體積膨脹產(chǎn)生的應力所致。因此，凡是能影響內(nèi)應力分布的因素都可能使零件離子滲氮后出現(xiàn)形狀扭曲、變形。生產(chǎn)實踐及試驗證明，下列因素對離子滲氮變形有影響：零件幾何形狀的對稱性；滲氮層與心部厚度的尺寸比；零件橫截面的變化；滲氮鋼的化學成分；除應力處理效果極其后的機械加工應力；滲氮時零件的擺放；離子滲氮工藝規(guī)范及操作過程中升溫速度及零件溫度的均勻性等。由于對變形的影響因素多，變形規(guī)律復雜，具體零件的變形規(guī)律和數(shù)據(jù)應在實踐中積累。
        滲氮后零件變形超差，原則上不允許校直，因為校直將造成滲氮層的開裂和剝落，以及使用過程中的變形。但對于滲層韌性較好的材料以及某些易變形的薄片狀零件，采用專門的夾具進行加熱校正，是允許的，原則是校直后不允許滲氮層出現(xiàn)裂紋。
        對于高精度零件，最后仍需要用磨削修正離子滲氮變形，滲氮前的磨削保留量應根據(jù)零件滲氮尺寸膨脹量和變形量加以確定。留磨量必須十分精確，過大，會磨去過多高硬度的滲氮表層，過小，則不能修正變形，達不到尺寸和精度要求。由于離子滲氮的膨脹量和變形均較氣體滲氮小，故留磨量可以相應的減小。
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