離子滲氮后零件尺寸一般都有稍微漲大，但是比氣體滲氮的漲大量小。這是因為陰極濺射抵消了一部分由于氮的滲入引起的體積漲大效應。在滲氮零件的棱角處，由于相鄰兩個面同時滲氮的結果產生了較其他部位更為嚴重的尺寸膨脹，稱為邊緣突起。這對接觸面的承載能力有不良影響。由于存在陰極濺射，離子滲氮產生的這種邊緣突起比氣體滲氮小得多，并且可以通過強化陰極濺射，進一步減小邊緣突起，獲得比較理想的輪廓。
降低滲氮溫度能顯著減小滲氮零件的變形。離子滲氮在350℃以上處理就有強化效果。采用低溫離子滲氮往往可以解決某些零件滲氮變形的難題。同時，低溫離子滲氮還具有保持零件足夠高的心部強度，增強承載能力等特點。
