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        離子滲氮是通過高密度的輝光放電加熱零件，電能利用率較高，與其他滲氮法所用的外熱式相比，耗電較少。此外，離子滲氮速度快，處理時間短，因此是一種節(jié)約能源的熱處理技術。特別是在設有隔熱屏的離子滲氮爐中，處理大型零件，裝爐量多時節(jié)能更為顯著。
        離子滲氮氣源采用氮和氫氣或者用經(jīng)過充分分解的氨氣，所以根本不存在公害問題。即使直接通入氨氣，由于工作壓力很低，氣體用量極小，也不用顧慮會產(chǎn)生公害。         滲氮氣氛一般用氫稀釋，但滲氮是在幾托壓力的真空容器中進行，即使由于某種原因在滲氮過程中進入空氣也沒有產(chǎn)生爆炸的危險。所以離子滲氮沒有必要對有毒氣體和排水處理方面采取特別措施。與其他滲氮方法相比，既節(jié)省了防治污染的設施和花費，又顯著改善了操作環(huán)境。