真空脈沖離子氮化工藝過(guò)程就是向真空爐中通入氨氣,即工件裝入真空爐后開(kāi)始啟動(dòng)機(jī)械泵抽氣,當(dāng)真空度達(dá)到設(shè)定值(多為1. 33Pa)時(shí),通電升溫,同時(shí)繼續(xù)抽真空,保持爐內(nèi)的真空度,爐溫達(dá)到要求的滲氮溫度 后,保溫一定時(shí)間,然后停止抽真空,向爐內(nèi)通人干燥的氨氣,使?fàn)t壓升高至50~70Pa,保持一定時(shí)間,再抽真空并保持一定時(shí)間,再通入氨氣,如此反復(fù)進(jìn)行多次,直到滲層達(dá)到要求為止。在整個(gè)氮化過(guò)程中爐溫保持不變。
真空脈沖離子氮化后工件表面硬度較高,滲氮速度較普通氣體滲氮快很多,如38CrMoAl鋼,經(jīng)550℃×10h真空脈沖滲氮較普通氣體滲氮540℃×33h具有相近的氮化層深度。
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